2023年9月4日，勵兆科技獲得數千萬人民幣的Pre-A輪融資，投資方為中芯聚源、Monolith Management礪思資本、臨港科創。

　　上海勵兆科技有限公司成立于2022年8月，勵兆科技是一家專注于半導體工藝設備領域的射頻和等離子系統供應商，專注于等離子體工藝設備核心部件的研發、制造和銷售，所生產的主要產品有括射頻電源、自動阻抗匹配器、遠程等離子體源，以及定制化模塊，包括高壓模塊、直流偏壓探測器、濾波器等，并提供系統的技術解決方案。

　　勵兆科技團隊在射頻、電力電子、控制和算法技術上都具有較深積累和完備的布局。高頻電力電子是射頻技術的一種，其人才在全球都非常稀缺，半導體射頻電源要求兆赫茲級別的電力電子技術。勵兆科技核心成員從2012年便開始深耕這個領域的研究，是國際上為數不多的華人專家之一。 

　　同時，產品的算法需要和半導體工藝相結合，需要熟悉等離子體加工工藝，且要有扎實的數理背景，勵兆科技能很好地結合客戶的實際工藝需求來研究和優化算法。

　　勵兆科技的主要產品是等離子射頻電源及其配套系統和遠程等離子源(RPS)系統，而這些產品的基本作用就是在相關半導體工藝設備中產生等離子體并達成相關各種工藝。

　　在每道工序中，等離子體的產生及工作原理都不盡相同。比如大部分先進刻蝕系統，需要射頻電源具備脈沖調制功能，以便用于刻蝕的等離子體有發生和中和的過程，可以穩定地朝著工藝指定的方向刻蝕；又比如在部分原子層沉積工藝中，為了配合工藝前體氣體脈沖快速釋放的節奏，射頻電源需要配備復雜的調頻功能來快速穩定降低射頻反射系數。 

　　針對這些技術要求，勵兆科技成立一年便開發出了13.56MHz系列和400KHz系列射頻電源產品，部分關鍵性能參數已達到國際先進水平，比如功率可調精度在0.1瓦，脈沖頻率從2Hz到50KHz，占空比1%-99%，配合獨有MOFT調頻功能 (模型導向的自動調頻技術)，能實現亞毫秒量級的高速阻抗匹配，可以有效地滿足多種工藝的需求，在國內率先為先進蝕刻和原子層沉積等工藝提供了可選方案。

　　同時在遠程等離子源(RPS)領域，勵兆科技正在開發一款可用于12寸晶圓去膠/氧化/清潔等工藝領域的產品，預計在2023年年底可為關鍵客戶送樣測試。