2022年5月26日，生波智能獲得1億人民幣的A輪融資，投資方為國(guó)芯創(chuàng)投、派諾資本。

　　生波智能是一家高端智能化半導(dǎo)體真空裝備制造商，以真空鍍膜工藝技術(shù)開(kāi)發(fā)、真空鍍膜設(shè)備研發(fā)制造技術(shù)為核心，在等離子體源、PECVD源、PVD源等多種核心源部件擁有自主研發(fā)、制造能力。

　　生波智能通過(guò)中高端設(shè)備的研發(fā)及專項(xiàng)設(shè)備的定制，為客戶提供新工藝開(kāi)發(fā)、新裝備研制、大規(guī)模量產(chǎn)型生產(chǎn)線制造與交付以及長(zhǎng)期技術(shù)支持、維保等全方面、一體化地解決方案。生波智能產(chǎn)品體系豐富，產(chǎn)品廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、平板顯示、航天科技、深空探測(cè)、新材料封裝等領(lǐng)域。

　　生波智能擁有卷繞控制系統(tǒng)、模塊化設(shè)計(jì)、傾斜式箱體設(shè)計(jì)、PEM氣體控制系統(tǒng)、新型中頻圓柱旋轉(zhuǎn)陰極、線形離子源、磁懸浮導(dǎo)向、二進(jìn)制多段布?xì)狻⒓墒缴a(chǎn)線水冷系統(tǒng)等20余項(xiàng)先進(jìn)工藝和核心技術(shù)，并將各種創(chuàng)新技術(shù)應(yīng)用于生產(chǎn)線實(shí)踐，并在實(shí)踐中發(fā)掘新的創(chuàng)新點(diǎn)，共同推進(jìn)工藝和設(shè)備的不斷更新和進(jìn)步。

　　生波智能目前共有20件專利申請(qǐng)，其中10件為發(fā)明專利，公司專利布局主要聚焦于真空鍍膜、驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)等相關(guān)領(lǐng)域。