2020年11月11日，東方晶源獲得戰略投資，金額未透露，投資方為亦莊國投。
東方晶源微電子科技（北京）有限公司是由中國東方集團與國際化技術和管理團隊創立的先進半導體關聯高科技公司。總部設于北京經濟技術開發區亦莊。公司致力于提供極大規模半導體產品設計和制造中制程問題的解決方案與相關設備。
東方晶源的服務對象是世界尖端的極大規模半導體設計、制造和裝備企業。公司在海外擁有合作和伙伴企業，協同合作開發新的解決方案和設備。
東方晶源的主要業務方向之一為應用于晶圓制造在線檢測的高速、高精度電子束圖像系統。通過高速而精準的電子束控制及檢測，結合本公司獨有的自動化在線專家系統，將大大助益于半導體制造業的自動化與制程優化，顯著提高整體生產效率。
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